準分子激光器:CL 7700
準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。
CL 7700技術(shù)參數(shù):
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激光介質(zhì) |
ArF |
KrF |
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波長 (nm) |
193 |
248 |
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最大脈沖能量 (mJ) |
400 |
750 |
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最大重復頻率 (Hz) |
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СL 7720 |
20 |
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CL 7750 |
50 |
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最大平均功率 (W) |
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СL 7720 |
7 |
15 |
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CL 7750 |
14 |
35 |
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脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %) |
< 2 |
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光斑尺寸 (VхH, mm) |
28 х 10 |
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光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) |
4.5 х 2 |
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脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns) |
20 |
30 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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重量 (kg) |
190 |
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尺寸 (LхWхH, mm) |
1430 х 380 х 760 |
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電源 |
220/380 V, 50 Hz, < 3500 VA |
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CL 7700主要特點:
高脈沖能量
閘流管開關(guān)
功率穩(wěn)定運行模式
內(nèi)置的能量檢測器
預混料氣體,使用簡單
計算機控制
應用:
材料加工
激光剝離
脈沖激光沉積技術(shù)
關(guān)于OptoSystems公司:
OptoSystems公司雇員超過40人,最重要的產(chǎn)品是準分子激光器。同時OptoSystems公司還開發(fā)出準分子激光器視力屈光矯正系統(tǒng)(LASIK),該系統(tǒng)已經(jīng)獲得中國政府頒發(fā)的銷售許可證,并有數(shù)臺已經(jīng)在中國安裝。OptoSystems公司的產(chǎn)品線還包括脈沖CO2激光器,YAG激光器等。
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