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準分子激光器:CL 7700

 

準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。

CL 7700
技術(shù)參數(shù)

激光介質(zhì)

ArF

KrF

波長 (nm)

193

248

最大脈沖能量 (mJ)

400

750

最大重復頻率 (Hz)

СL 7720

20

CL 7750

50

最大平均功率 (W)

СL 7720

7

15

CL 7750

14

35

脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

28 х 10

光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH)

4.5 х 2

脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns)

20

30

冷卻方式

水冷

重量 (kg)

190

尺寸 (LхWхH, mm)

1430 х 380 х 760

電源

220/380 V, 50 Hz,  < 3500 VA


CL 7700主要特點:
高脈沖能量

閘流管開關(guān)

功率穩(wěn)定運行模式

內(nèi)置的能量檢測器

預混料氣體,使用簡單

計算機控制

 

應用:

材料加工

激光剝離

脈沖激光沉積技術(shù)

 

關(guān)于OptoSystems公司:

OptoSystems公司雇員超過40人,最重要的產(chǎn)品是準分子激光器。同時OptoSystems公司還開發(fā)出準分子激光器視力屈光矯正系統(tǒng)(LASIK),該系統(tǒng)已經(jīng)獲得中國政府頒發(fā)的銷售許可證,并有數(shù)臺已經(jīng)在中國安裝。OptoSystems公司的產(chǎn)品線還包括脈沖CO2激光器,YAG激光器等。

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